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範圍:10E3 ~ 10E13 Ω/SQ
精密度:同心圓及5磅砝碼+/- 5%,點到點阻抗測試探頭+/-10%
符合 EOS/ESD S4.1
用途:量測物體之表面/體積阻抗及接地阻抗